東北大学ナノテク融合技術支援センター 試作コインランドリにおける ハイデルベルグ・インストルメンツ社製レーザー直接描画装置を用いたグレイスケールリソグラフィの実践とその加工例
15:05-15:50

ハイデルベルグ・インストルメンツ

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

副センター長 准教授

戸津 健太郎