エイチ・エス・エレクトリック

出展展示会 : ASTEC 2019
小間番号 : 4D-08

HiPIMS電源の商品化
弊社は25年に亘り特注電源の設計、製造、販売を行っています。この間、数Wの小型機から100kW超の大型機まで、10kVの高圧タイプ、10000Aの大電流タイプまで実績があります。特に、最近はプラズマ生成用のパルス電源に注力しまして、今般HiPIMS電源の製品化を行いましたのでご紹介します。

製品・サービス 1 デモ 新製品

HiPIMS電源

成膜手法の一つであるHiPIMS法は優れた膜質の成膜が期待されているが、HiPIMS法に求められる瞬時大電力を供給出来るパルス電源がなく研究開発が十分に行われなかった。今回、弊社は経済産業省補助事業サポインにより瞬時電力1MWを供給可能なHiPIMS用パルス電源を開発しましたのでご紹介します。

製品・サービスカテゴリー

表面処理技術分野
その他表面処理技術:プラズマ生成用パルス電源

連絡先情報

下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的(セールス等)で無断に使用・転載する事を固く禁じます。

エイチ・エス・エレクトリック

〒 969-3502
福島県 喜多方市塩川町常世字西町699

TEL : 0241-27-8478
URL : http://www.hse-web.com/

 

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