ハイテック・システムズ

出展展示会 : nano tech 2019
小間番号 : 6F-04

マイクロエレクトロニクス、MEMS向けの研究開発及び量産用最先端プロセス装置としてアメリカVeeco社 CNT ALD装置、ドイツscia systems社 Ion Beam装置やフランスAnnealsys社RTA, DLI-CVD/ALD装置を取り扱っております。

製品・サービス 1

MCシリーズ(DLI-CVD/ALD)

フランスAnnealsys社のMCシリーズはDirect Liquid InjectionによるCVD/ALDモードでの成膜可能な装置

製品・サービスカテゴリー

材料・素材
グラフェン、ナノコーティング

連絡先情報

下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
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ハイテック・システムズ

先端システム部
〒 2220022
神奈川県 横浜市港北区新横浜3丁目19番5号 新横浜第二センタービル12階

TEL : 045-478-6511
URL : http://www.hightec-sys.com/

 

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