製品・サービス 1

薄膜機械特性評価　ナノインデンター

自動車部品で多用されるダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜やコネクタの電極表面の金属メッキ膜、樹脂表面の保護用ハードコート膜など、製品の機械的特性を向上させる薄膜の使用が増えています。ナノインデンターでは、従来の押しこみ試験では測定が困難であったミクロンレベルの薄膜に対し、高精度かつ自動で硬さ・ヤング率等の機械的特性が取得可能です。さらに加熱やスクラッチといった各種オプションも追加可能です。

製品・サービス 2 新製品

TESCAN社製プラズマFIB-SEM

プラズマFIB-SEMシステムは、イオンビームにXe（キセノン）プラズマを用いた新方式のFIB-SEMシステムです。現行のGaイオンFIB-SEMシステムに比べて50倍以上のスピードで広範囲・大面積の加工ができ、数10nmレベルの位置精度での微細加工も可能です。今まで数日かけて行っていた加工や断念していたmm領域の断面加工が1日の内に実施できるため、開発効率や品質の向上、製造過程の歩留まり改善に寄与します。

製品・サービスカテゴリー

表面処理・計測装置分野
表面張力/形状/粗さ測定器、膜厚測定器、ナノインプリント装置、スパッタリング装置、接触角測定器、UVランプ、PVD・CVD装置、露光装置、その他表面処理・計測装置

連絡先情報

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